SEMITRON® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 форми поседуваат одлична отпорност на топлина и ниски стапки на излегување и ерозија во плазма комори. Овој материјал со висока чистота со ниска јонска содржина е често избран за апликации за вакуум комора во рамките на под -сегментациите на Etch, CVD и јонските импланти во индустријата за полупроводници и електроника.

Semitron® MPR 1000 покажува зголемен живот во текот на традиционалните материјали, на пример до 25x над полиимид во озонот во некои случаи. Поради својата долговечност, таа е наведена против традиционалните материјали што се користат во апликации за вакуум комора, како што се кварц, керамика, полиимиди и друга инженерска пластика.

Материјални својства

Ниска јонска содржина и ниско излегување

Одлична отпорност на топлина

Минимизирана стапка на ерозија во плазма комори

Оптимална отпорност на чипови, издржливост и машинска состојба

Дизајнирано специјално за барање апликации за комора

Апликации: Вакуумски комори засновани на плазма, прстени за стегање, ровови прстени, завртки, иглички, глави за туширање, прстени во фокус, изолатори, вакуумски влошки

За Семитрон

Производите на полупроводници Semitron® беа развиени за да им помогнат на дизајнерите и корисниците да ги оптимизираат перформансите на опремата за производство на уреди. Покрај производството на уреди, многу од овие материјали се идеални за специфични околини каде што се потребни отпорни на абење, отпорност на хемикалии и управување со статичка електрична енергија.

Развиени се две групи производи. Еден, добро прилагоден за ракување со уреди и апликации за тестирање, и секунда за апликации за комора за следната генерација CMP, плазма и еч.

Оценките на полутрон се достапни во лист, прачка (некои формулации) и машински делови.